সিলিকন রেজোন্যান্ট প্রেসার সেন্সরগুলি উচ্চ-নির্ভুলতা পরিমাপের ক্ষেত্রে আলাদা আলাদাভাবে চাপের অনন্য নীতির কারণে-ফ্রিকোয়েন্সি রূপান্তর এবং সিলিকন ভিত্তিক উপাদানগুলির বৈশিষ্ট্যগুলির জন্য-। যাইহোক, অন্যান্য ধরণের সেন্সর (যেমন পিজোরেসিটিভ, ক্যাপাসিটিভ, পাইজোইলেকট্রিক, ভাইব্রেটিং তার ইত্যাদি) সাথে তুলনা করলে, তাদের সুবিধাগুলি প্রযুক্তিগত নীতি এবং কাঠামোগত নকশার পার্থক্য থেকে উদ্ভূত হয়। নির্দিষ্ট তুলনা নিম্নরূপ:
1.নীতির স্তরে যথার্থতা সুবিধা
٭ চাপ-সহজাত শব্দ প্রতিরোধের সাথে ফ্রিকোয়েন্সি রূপান্তর: সিলিকন রেজোন্যান্ট কাঠামোর ফ্রিকোয়েন্সি পরিবর্তনের মাধ্যমে সরাসরি ডিজিটাল সিগন্যাল (ফ্রিকোয়েন্সি পরিমাণ) আউটপুট করে, অ্যানালগ-থেকে-ডিজিটাল রূপান্তর ত্রুটি, সংকেত পরিবর্ধনের গোলমাল, এবং দীর্ঘস্থায়ী ট্রান্সমিশন{3}এর ক্ষতি (ভোল্টেজ সংকেত) বা ক্যাপাসিটিভ (ক্যাপাসিট্যান্স পরিবর্তন) সেন্সর। ফ্রিকোয়েন্সি সিগন্যালে অত্যন্ত শক্তিশালী ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক হস্তক্ষেপ প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে (যেমন 100V/m রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি হস্তক্ষেপের প্রতিরোধ), এবং নির্ভুলতা 0.01% FS এ পৌঁছাতে পারে (যদিও পাইজোরেসিটিভ সেন্সর সাধারণত 0.1%FS থেকে 0.5%FS এর নির্ভুলতা থাকে)।
٭ চমৎকার রৈখিকতা এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা: সিলিকন রেজোন্যান্ট স্ট্রাকচারের স্ট্রেস-ফ্রিকোয়েন্সি রেসপন্স রৈখিকতা 0.9999-এর বেশি, এবং ননলিনিয়ার ত্রুটি 0.01%FS-এর চেয়ে কম, ক্যাপাসিটিভ সেন্সরগুলির থেকে অনেক বেশি উচ্চতর (আনুমানিক 0.10% ফাইজেনসিস্টের অরৈখিক ত্রুটি সহ) পোস্ট-অরৈখিকতা সংশোধন করতে ক্রমাঙ্কন)।
2.উপাদান এবং কাঠামোগত স্থায়িত্ব
٭ সিলিকন-ভিত্তিক পদার্থের তাপমাত্রার বৈশিষ্ট্য: সিলিকনের তাপীয় প্রসারণের সহগ অত্যন্ত কম (2.6×10⁻⁶/ডিগ্রী), এবং ইলাস্টিক মডুলাস তাপমাত্রার সাথে সামান্য পরিবর্তিত হয় (-50 ডিগ্রি থেকে +125 ডিগ্রির মধ্যে পরিবর্তনটি 50% কম)। প্রতিসম দ্বৈত অনুরণন যন্ত্রের (তাপমাত্রা ডিফারেনশিয়াল ক্ষতিপূরণ) ডিজাইনের সাথে, তাপমাত্রার সংবেদনশীলতা 1×10⁻⁶/ডিগ্রীতে হ্রাস করা যেতে পারে, অতিরিক্ত তাপমাত্রা সেন্সর ছাড়াই উচ্চ-নির্ভুল ক্ষতিপূরণ সক্ষম করে (পিজোরেসিটিভ সেন্সরগুলির তাপমাত্রা ড্রিফ্ট সাধারণত 0⁻0⁻10⁶10⁶ ডিগ্রির বেশি)।
কোন চলমান অংশ ছাড়াই কঠিন-অবস্থা: MEMS প্রযুক্তি দ্বারা নির্মিত সমন্বিত অনুরণিত মরীচি/ডায়াফ্রাম কাঠামোতে যান্ত্রিক যোগাযোগ বা সীল বার্ধক্যের কোনো সমস্যা নেই। বার্ষিক ড্রিফ্ট রেট 0.01% FS (কম্পনকারী তারের সেন্সরগুলির বার্ষিক ড্রিফ্ট প্রায় 0.05% FS, এবং ক্যাপাসিটিভ সেন্সর আরও বেশি), এটি দীর্ঘ-মেয়াদী স্থিতিশীল পর্যবেক্ষণের জন্য উপযুক্ত করে তোলে (উদাহরণস্বরূপ, বিমান চলাচলের বায়ুমণ্ডলীয় ডেটা সিস্টেমকে নির্ভরযোগ্যভাবে কাজ করতে হবে)।
3.ডিজিটাল আউটপুট এবং বুদ্ধিমান বৈশিষ্ট্য
٭ ডাইরেক্ট ডিজিটাল সিগন্যাল আউটপুট: জটিল সিগন্যাল কন্ডিশনিং সার্কিটের প্রয়োজন ছাড়াই মাইক্রোপ্রসেসরের মাধ্যমে ফ্রিকোয়েন্সি সিগন্যাল সরাসরি সংগ্রহ করা যেতে পারে, সিস্টেম ডিজাইনকে সহজ করে এবং শব্দ প্রবর্তনের ঝুঁকি হ্রাস করে (বিপরীতভাবে, পাইজোরেসিটিভ সেন্সরগুলি এডিসি সার্কিটের সাথে অভিযোজন প্রয়োজন এবং পাওয়ার সাপ্লাই নয়েজের জন্য ঝুঁকিপূর্ণ)।
٭ অন-চিপ সেল্ফ-ক্র্যালিব্রেশন ক্ষমতা: এমসিইউ বা ASIC-তে অন্তর্নির্মিত-শক্তি অর্জন করতে পারে-সেল্ফ-চেক এবং পর্যায়ক্রমিক সেলফ{-ক্যালিব্রেশনে (যেমন কোয়ার্টজ রেফারেন্স ফ্রিকোয়েন্সির সাথে তুলনা করা), স্বয়ংক্রিয়ভাবে দীর্ঘ-মেয়াদী ড্রিফ্টের জন্য ম্যানুয়ালি ড্রিফটের প্রয়োজন হয় না। অফলাইন ক্রমাঙ্কন)।
4.গতিশীল প্রতিক্রিয়া এবং রেজোলিউশন
উচ্চ Q মান এবং উচ্চ রেজোলিউশন: ভ্যাকুয়াম প্যাকেজিং (বায়ুমণ্ডলীয় চাপ <10⁻³Pa) অনুরণনকারীকে একটি গুণমান ফ্যাক্টর Q > 10,000 দেয় এবং চাপের রেজোলিউশন 0.001hPa (0.1Pa) এ পৌঁছাতে পারে, যা ছোট চাপের পরিবর্তন পরিমাপের জন্য উপযুক্ত (যেমন, বায়ুমণ্ডলের সারির উচ্চতা নির্ণয় করা)। (প্রায় 1hPa এর রেজোলিউশন সহ) এবং ক্যাপাসিটিভ সেন্সর (প্রায় 0.1hPa এর রেজোলিউশন সহ)।
٭ প্রশস্ত গতিশীল পরিসর: স্ট্রাকচারাল ডিজাইনের মাধ্যমে, এটি মাইক্রো-চাপ (0~1kPa) থেকে মাঝারি-উচ্চ চাপ (0~10MPa) পর্যন্ত পরিসরকে কভার করতে পারে এবং সম্পূর্ণ পরিসরের মধ্যে উচ্চ নির্ভুলতা বজায় রাখতে পারে (প্রথাগত সেন্সরগুলির জন্য, পরিসর যত বেশি, ccuracy হ্রাস তত বেশি স্পষ্ট)।
সিলিকন অনুরণিত চাপ সেন্সরগুলির মূল সুবিধাগুলি "উচ্চ নির্ভুলতা, উচ্চ স্থিতিশীলতা এবং ডিজিটাল বৈশিষ্ট্য" এর মধ্যে রয়েছে। টেকনিক্যালি, সারমর্ম হল "মাল্টি-লিঙ্ক অ্যানালগ সিগন্যাল চেইনের ত্রুটিগুলি" থেকে "সিলিকন-ভিত্তিক অনুরণন কাঠামো + চাপ-ফ্রিকোয়েন্সি রূপান্তর" এর মাধ্যমে "একক ফ্রিকোয়েন্সি পরিমাপের ত্রুটি" থেকে চাপ পরিমাপের ত্রুটিকে রূপান্তর করা এবং কাঠামোর সম্পূর্ণ অপ্টিমাইজেশন, অ্যালগরিথ লিংক এবং উপাদানের অপ্টিমাইজেশনের মাধ্যমে ত্রুটি দমন করা।